한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

Aligner
모델명/제조사 EVG-620 / EVG (Austria)
주요사항 Wavelength: Broadband, I-Line Align: Dual-Side Align Resolution: 1um Substrate Size: 2", 4", 6"
주요용도 Align & Exposure
담당자 류헌열 연구원
현재상태 사용 가능
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