한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

NEMPL ?????б? ??????? ??????? ?? ???? ??????

  • Home
  • Contact Us
  • Sitemap
  • English

보유시설및장비

Spin Coater
모델명/제조사 GMS-120 / Genesys (Korea)
주요사항 Spin Speed: 5000rpm Uniformity: under 3% Substrate Size: 4, 6 inch Substrate Material: Si, Glass, Metal, Plastic PR Positive: AZ1512, AZ1518, SS03A9, AZ7210 Negative: Su-8 50, Su-8 100, Su-8 2002, JSR, AZ5214, AZ-nLOF
주요용도 PR coating
담당자 류헌열 연구원
현재상태 사용 가능
목록
top