한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

Asher
모델명/제조사 Glen-R3A / Yes (USA)
주요사항 1x RF Power: 500W Low frequency Substrate Size: Free(Stack) Substrate Material: Si, Glass, Metal, Plastic PUMP: (Main Chamber)Rotary Pump
주요용도 Plasma Cleaning & Surface Treatment
담당자 류헌열 연구원
현재상태 사용 가능
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