한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

Particle Deposition System
모델명/제조사 특주 / 특주
주요사항 Possible deposition below 1 um particle size.
주요용도 Wafer 위에 파티클을 wet/dry 방식으로 오염시키는 장치
담당자 김현태 연구원
현재상태 사용 가능
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