한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

Single wafer cleaning tool(Aaron)
모델명/제조사 특주 / Aaron
주요사항 Single tool type, Spin dry method
주요용도 Particle contamination
담당자 김현태 연구원
현재상태 사용 불가능
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