한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

Valiable Angle Spectroscopic Ellipsometer
모델명/제조사 VASE / J.A.Woollam Co.Inc (USA)
주요사항 .
주요용도 비파괴 광학적 방식을 이용하여 물질의 광학적 특성 (N,K) 을 측정 박막 두께 및 특징 및 다층 박막의 경우 각 층 사이들 계면에 대한 물리적 특성 측정
담당자 한광민 연구원
현재상태 사용 불가능
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