한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

장비명 모델명 용도 제조사
FTIR iS50 Visible, NIR, MIR, FIR영역에서 고체, 액체, 기체의 정성/정량분석 Thermo
Potentiostats VersaSTAT3 Corrosion : providing multiple corrosion analysis techniques such as LPR, Tafel etc. ; Voltammetry : providing basic and advanced scan, step and pulse electrochemical techniques ; Impedance : may be added to any system to provide electrochemical impedance spectroscopy techniques Princeton Applied Research
Four point probe system CMT-SR5000 Measures the sheet resistance & resistivity of 12" Wafer, Thin film etc. AIT
Viscosity meter LVDV-II+ Physico-chemical investigation apparatus, viscosimeter (concentric cylindrical, rotational) BROOKFIELD
Colloidal Probe Manipulation System - Colloidal Probe Manufacturing System Lab Made
Fluorescence Optical Microscope LV100D 형광 입자 관찰 및 일반 광학 현미경 기능 수행 Nikon(Japan)
Defect Counter Surfscan6200 Wafer 상에 존재하는 100 nm 이상의 입자를 검출함 Tencor (U.S.A)
Atomic Force Microscopy XE-100 Fundamental Studying for - Interaction Force Measurement between Particles and Surfaces - Measurement of Pattern Collapse Force - Electrochemistry - Chemical Mechanical Polishing - Surface Characterization Park Systems(Korea)
Reflectometer ST4000-DLX Film Thickness Measurement KMAC, (Korea)
Valiable Angle Spectroscopic Ellipsometer VASE 비파괴 광학적 방식을 이용하여 물질의 광학적 특성 (N,K) 을 측정 박막 두께 및 특징 및 다층 박막의 경우 각 층 사이들 계면에 대한 물리적 특성 측정 J.A.Woollam Co.Inc (USA)
Dynamic Contact Angle measurement machine DCA-315 Wilhelmy 판 방법으로 주로 액상화된 물질의 계면장력과 고체상의 표면에너지, 습윤성 등을 측정하는 표면장력측정기 CAHN Instruments. Inc (USA)
Particle Size Analyzer AccuSizer 780 용액내에 분포하고 있는 particle의 크기와 개수를 분석 PSS (USA)
Zetasizer ELS-Z 콜로이드 입자의 분산 응집성, 상호작용, 표면 개질의 지표가 되는 제타 전위를 전기용동 광 산란법으로 측정 및 Nano particle size 측정 Otsuka (Japan)
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