한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

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보유시설및장비

장비명 모델명 용도 제조사
300mm polisher Doopla 310 300mm 웨이퍼를 polishing 할 수 있으며, 장시간 conditioning test도 가능하다. Doosan mecatec Co., Ltd.
Friction Polisher Poli-500 4”6”8”가 가능한 Polisher로써 CMP중 발생되는 Friction도 측정이 가능 GNP Tech.Co.(KOREA)
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