한양대학교 나노바이오 전자재료 및 공정 연구실 - NEMPL

NEMPL ?????б? ??????? ??????? ?? ???? ??????

  • Home
  • Contact Us
  • Sitemap
  • English

보유시설및장비

장비명 모델명 용도 제조사
Wet station 특주 SC-1, HF세정 Lab made
Single wafer cleaning tool(Akrion) GF-1 8 inch notch type wafer cleaning : SC-1, functional water Akrion
Single wafer cleaning tool(Aaron) 특주 Particle contamination Aaron
Cleanroom Class 10 Specialized for cleaning study 특주
Particle Deposition System 특주 Wafer 위에 파티클을 wet/dry 방식으로 오염시키는 장치 특주
Ozone Controller SCI-Turbo O2 gas, 첨가제 flow조절 및 O3 gas주입 농도 조절 IN USA (U.S.A)
Ozone Generator ASTEX(AX-8400) O2 및 N2 gas를 source로 하여 코로전방전을 통해 O3 gas를 발생시킴 MKS
top